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上海物光光电轮廓仪WGL
上海物光光电轮廓仪WGL
表面微观不平深度测量范围：130?1nm
测量的重复性：sRa≤0.5nm
测量精度：8nm
物镜倍率：40X
数值孔径：0.65
仪器视场 目视：f0.25mm
摄象：0.13X0.13mm
仪器放大倍数 目视：500X
摄象（计算机屏幕观察）：2500X
接收器测量列阵：1000X1000
象素尺寸：5.2X5.2nm
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